希爾(er)思(si)熱(re)式質(zhi)量流(liu)量計(ji)是(shi)壹(yi)種(zhong)利(li)用熱量傳(chuan)遞原(yuan)理測量微小(xiao)流(liu)量的直(zhi)接(jie)式質(zhi)量流(liu)量儀(yi)表(biao),即(ji)通(tong)過測量管中(zhong)流(liu)動(dong)中的(de)流(liu)體與(yu)測(ce)量管外的熱(re)源(yuan)之間熱量交換(huan)關系來(lai)計(ji)量流(liu)量。
熱式質(zhi)量流(liu)量計(ji)采(cai)用熱擴(kuo)散(san)原(yuan)理,熱(re)擴(kuo)散(san)技(ji)術是壹(yi)種(zhong)在(zai)苛刻(ke)條(tiao)件下(xia)性能優(you)良(liang)、可(ke)靠性高的(de)技(ji)術。其典型(xing)傳(chuan)感元(yuan)件包括(kuo)兩(liang)個熱電(dian)阻(zu)(鉑(bo)RTD),壹(yi)個是速(su)度傳(chuan)感器(qi),壹(yi)個是自(zi)動(dong)補償(chang)氣體溫度(du)變化的(de)溫(wen)度傳(chuan)感器(qi)。當兩個RTD被置於(yu)介(jie)質中時(shi),其中速度(du)傳(chuan)感器(qi)被加熱到(dao)環境(jing)溫(wen)度(du)以上(shang)的壹(yi)個恒定(ding)的(de)溫(wen)度(du),另(ling)壹(yi)個溫度(du)傳(chuan)感器(qi)用於感(gan)應(ying)介質溫度(du)。流(liu)經速度傳(chuan)感器(qi)的氣體質量流(liu)量是通(tong)過傳(chuan)感元(yuan)件的(de)熱傳(chuan)遞量來(lai)計(ji)算的(de)。氣(qi)體流(liu)速增(zeng)加,介質(zhi)帶走(zou)的(de)熱(re)量增(zeng)多。使傳(chuan)感器(qi)溫度隨(sui)之降(jiang)低。為(wei)了(le)保持(chi)溫度的恒定(ding),則(ze)必(bi)須(xu)增(zeng)加通(tong)過傳(chuan)感器(qi)的工(gong)作(zuo)電(dian)流(liu),此(ci)增(zeng)加的部(bu)分電(dian)流(liu)大(da)小(xiao)與(yu)介(jie)質(zhi)的(de)流(liu)速成(cheng)正(zheng)比(bi)。
希爾(er)思(si)熱(re)式質(zhi)量流(liu)量計(ji)用的最多的有兩(liang)類(lei),壹(yi)類式利(li)用流(liu)動(dong)流(liu)體傳(chuan)遞熱(re)量,改變(bian)測(ce)量管壁(bi)溫度分布的熱傳(chuan)導分布效應(ying)的熱分布式流(liu)量計(ji);另(ling)壹(yi)類是利(li)用熱消(xiao)散(san)(冷(leng)卻)效(xiao)應(ying)的金(jin)式定(ding)律熱式流(liu)量計(ji)。熱(re)式質(zhi)量流(liu)量計(ji)較(jiao)多的是用於氣(qi)體的流(liu)量計(ji)量,而(er)後逐步(bu)開發了(le)基於熱分布原理的(de)液(ye)體流(liu)量計(ji)量產(chan)品(pin)。因(yin)其(qi)測(ce)量原理(li)不(bu)同(tong)於(yu)科氏質量流(liu)量計(ji),使其具(ju)有幾(ji)點(dian)不(bu)同(tong)的(de)特(te)性:
(1)熱式質(zhi)量流(liu)量計(ji)能(neng)夠(gou)測(ce)量極微小(xiao)的流(liu)量,小(xiao)至5g/h(遠(yuan)高(gao)於(yu)化學(xue)藥(yao)劑(ji)註(zhu)入(ru)系統(tong)對最小(xiao)測量能力的(de)需(xu)求),量程比(bi)20~50∶1。
(2)希爾(er)思(si)熱(re)式質(zhi)量流(liu)量計(ji)需(xu)要壹(yi)定(ding)的(de)啟動(dong)預熱(re)時間(jian)(10~20min),並且對操作(zuo)溫(wen)度(du)有要(yao)求(通(tong)常(chang)在(zai)5℃~50℃之間(jian)),如果(guo)使用環境(jing)溫(wen)度過低還(hai)需(xu)要增(zeng)加保溫(wen)伴(ban)熱(re)措(cuo)施(shi)。