希(xi)爾(er)思(si)熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計的熱擴散技(ji)術(shu)是(shi)壹種在(zai)苛(ke)刻(ke)條(tiao)件下(xia)性(xing)能優(you)良、可(ke)靠(kao)性(xing)高的技(ji)術(shu)

　　希(xi)爾(er)思(si)熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計用(yong)於(yu)直接(jie)測量(liang)氣(qi)體(ti)的質(zhi)量(liang)流量(liang)，並(bing)且不需要(yao)溫(wen)壓(ya)補償，具(ju)有高精度和(he)長期(qi)穩(wen)定(ding)性(xing)的特(te)點，可(ke)用(yong)於(yu)壓(ya)縮空(kong)氣(qi)的計量(liang)，過(guo)程行(xing)業(ye)的氣(qi)體(ti)流量(liang)測量(liang)，或者(zhe)汙(wu)水(shui)處(chu)理廠(chang)等(deng)的生物沼氣(qi)測量(liang)。

　　熱式質(zhi)量(liang)流量(liang)計采(cai)用(yong)熱(re)擴散原理(li)，熱(re)擴散技(ji)術(shu)是(shi)壹種在(zai)苛(ke)刻(ke)條(tiao)件下(xia)性(xing)能優(you)良、可(ke)靠(kao)性(xing)高的技(ji)術(shu)。其(qi)典型(xing)傳(chuan)感元(yuan)件包括(kuo)兩(liang)個(ge)熱(re)電(dian)阻（鉑RTD），壹個(ge)是(shi)速(su)度(du)傳(chuan)感器，壹個(ge)是(shi)自動(dong)補償氣(qi)體(ti)溫(wen)度變(bian)化的溫度(du)傳感器。當兩(liang)個(ge)RTD被(bei)置(zhi)於(yu)介(jie)質(zhi)中時(shi)，其(qi)中速(su)度(du)傳(chuan)感器被加(jia)熱到環境溫度(du)以上的壹個(ge)恒(heng)定(ding)的溫度(du)，另壹個(ge)溫(wen)度(du)傳(chuan)感器用於(yu)感應介質(zhi)溫(wen)度(du)。流經速(su)度傳感器的氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)流量(liang)是通(tong)過(guo)傳感元(yuan)件的熱傳(chuan)遞(di)量(liang)來(lai)計算(suan)的。氣(qi)體(ti)流速增(zeng)加(jia)，介質(zhi)帶(dai)走(zou)的熱量(liang)增多(duo)，使(shi)傳感器溫度隨(sui)之降低。為(wei)了保持(chi)溫度(du)的恒(heng)定(ding)，則(ze)必須增加(jia)通過(guo)傳感器的工作電(dian)流，此增(zeng)加(jia)的部分(fen)電(dian)流大小(xiao)與介(jie)質(zhi)的流速成(cheng)正(zheng)比(bi)。

　　優(you)點：

　　希(xi)爾(er)思(si)熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計可(ke)測量(liang)低流速（氣(qi)體(ti)0.02~2m/s）微(wei)小(xiao)流量(liang)；浸入(ru)式熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計可(ke)測量(liang)低~中偏(pian)高流速（氣(qi)體(ti)2~60m/s），插(cha)入(ru)式熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計更(geng)適合於(yu)大(da)管徑。

　　熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計無(wu)活動(dong)部件，無(wu)分(fen)流管的熱分(fen)布(bu)式儀表無(wu)阻流件，壓力損失(shi)很(hen)小(xiao)；帶分(fen)流管的熱分(fen)布(bu)式儀表和(he)浸入(ru)性儀表，雖(sui)在(zai)測量(liang)管道中置(zhi)有阻(zu)流件，但壓(ya)力損失(shi)也(ye)不大。

　　熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計使(shi)用(yong)性能相對可靠(kao)。與推導式質(zhi)量(liang)流量(liang)儀表相(xiang)比(bi)，不需溫度(du)傳感器，壓力傳感器和計算(suan)單元(yuan)等，僅(jin)有流量(liang)傳感器，組(zu)成簡(jian)單，出現(xian)故(gu)障(zhang)概(gai)率小(xiao)。

　　熱分(fen)布(bu)式儀表用(yong)於(yu)H2、N2、O2、CO、NO等(deng)接近理(li)想(xiang)氣(qi)體(ti)的雙(shuang)原子(zi)氣(qi)體(ti)，不*這(zhe)些(xie)氣(qi)體(ti)專(zhuan)門標定(ding)，直接(jie)就用空(kong)氣(qi)標定(ding)的儀表，實驗(yan)證(zheng)明差(cha)別僅2%左右(you)；用(yong)於(yu)Ar、He等(deng)單原子(zi)氣(qi)體(ti)則(ze)乘(cheng)系(xi)數1.4即可；用於(yu)其(qi)他氣(qi)體(ti)可(ke)用比(bi)熱容(rong)換算(suan)，但(dan)偏(pian)差(cha)可能稍(shao)大(da)些。

　　氣(qi)體(ti)的比(bi)熱容(rong)會隨(sui)著壓(ya)力溫度(du)而(er)變，但在(zai)所使用(yong)的溫度(du)壓力附(fu)近不大的變化(hua)可視(shi)為(wei)常數。

　　缺點：

　　希(xi)爾(er)思(si)熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計響(xiang)應(ying)慢(man)。

　　被(bei)測量(liang)氣(qi)體(ti)組(zu)分(fen)變(bian)化(hua)較(jiao)大的場所，因cp值(zhi)和熱(re)導率變化(hua)，測量(liang)值(zhi)會有較(jiao)大變(bian)化而產生誤(wu)差。

　　對小(xiao)流量(liang)而言(yan)，儀表會給被(bei)測氣(qi)體(ti)帶(dai)來(lai)相(xiang)當(dang)熱(re)量(liang)。

　　對於(yu)熱(re)分(fen)布(bu)式熱(re)式質(zhi)量(liang)流量(liang)計，被(bei)測氣(qi)體(ti)若(ruo)在(zai)管壁沈(chen)積垢(gou)層(ceng)影響(xiang)測量(liang)值(zhi)，必須定期(qi)清(qing)洗；對細(xi)管型儀表更(geng)有易(yi)堵塞(sai)的缺點，壹般情(qing)況(kuang)下(xia)不能使用。

　　對脈(mai)動(dong)流在(zai)使用(yong)上(shang)將(jiang)受(shou)到限制。

　　液體(ti)用(yong)熱式質(zhi)量(liang)流量(liang)計對(dui)於(yu)粘(zhan)性(xing)液體(ti)在(zai)使用(yong)上(shang)亦(yi)受(shou)到限制。